【摘 要】
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采用修正的逾渗模型,通过简单的三维Monte Carlo计算,模拟了多孔硅中孔形成的动力学过程.计算结果表明:长成的孔的形貌主要与衬底的掺杂浓度有关;在所有的强发光多孔硅的表面
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采用修正的逾渗模型,通过简单的三维Monte Carlo计算,模拟了多孔硅中孔形成的动力学过程.计算结果表明:长成的孔的形貌主要与衬底的掺杂浓度有关;在所有的强发光多孔硅的表面及体内都存在海绵状的多孔结构;孔度的最大值并不是在最外表面,而是在表面下的某个层区上;硅耗尽层的宽度取决于多孔硅的孔度,孔度越高,宽度越小;在高孔度多孔硅中,表面的孔度梯度是很大的,预期此特征正是决定多孔硅发光成功与失效的关键之一.
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