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应用空心阴极离子镀制备了ＣｒＮ薄膜．用椭圆偏振测量术对ＣｒＮ薄膜进行测量，用求极值的方法得到了它们的光学常数，并对不同含Ｎ２量的ＣｒＮ薄膜光学常数进行了比较．
Cr-N薄膜N含量对折射率的影响
【摘 要】
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应用空心阴极离子镀制备了ＣｒＮ薄膜．用椭圆偏振测量术对ＣｒＮ薄膜进行测量，用求极值的方法得到了它们的光学常数，并对不同含Ｎ２量的ＣｒＮ薄膜光学常数进行了比较．
【机 构】
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桂林电子工业学院基础部,洛阳工学院基础部,云南大学物理系
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1998年S1期
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