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本文简要介绍了准分子激光微加工的原理;分析比较了几种微检测技术的特点和用途;提出了采用显微拉曼光谱检测准分子激光微加工质量的新技术,并在有机玻璃和光刻胶制成的齿轮上分别进行了探索.研究结果表明:显微拉曼散射技术确实可以成为一种新的检测微加工质量的有效手段.
采用显微拉曼光谱技术检测激光微加工质量
【摘 要】
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本文简要介绍了准分子激光微加工的原理;分析比较了几种微检测技术的特点和用途;提出了采用显微拉曼光谱检测准分子激光微加工质量的新技术,并在有机玻璃和光刻胶制成的齿轮
【机 构】
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北京工业大学国家产学研激光技术中心
【出 处】
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光散射学报
【发表日期】
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2003年1期
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