论文部分内容阅读
介绍了一种新型的光刻系统-全内反射全息光刻系统.着重讨论了设计该系统时的几个重要因素,给出了用该系统开展的实验研究结果.
一种新型光刻系统的研究
【摘 要】
：
介绍了一种新型的光刻系统-全内反射全息光刻系统.着重讨论了设计该系统时的几个重要因素,给出了用该系统开展的实验研究结果.
【机 构】
：
四川师范学院物理系,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
光电子技术与信息
【发表日期】
：
2001年2期
其他文献
采用分子束外延技术,在GaAs衬底上生长GaAs,AlAs和AlGaAs时,实现RHEED图像和RHEED强度振荡的实时监测已被证明是一种有效工具.通过RHEED可讨论GaAs表面结构和生长机制,并可以
小儿误食剧毒杀鼠剂后常出现中毒症状,并引发多器官功能不全(MODS),严重者可导致患儿伤残和死亡.现将我院1998～2001年收治的25例鼠药中毒并发MODS分析报告如下.