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设计与研制了一种小型的用于制备薄膜样品电接触的烧结炉装置，该装置简单、实用、特别适用于半导体霍尔样品电极的烧结。
小型烧结炉装置的设计与制作
【摘 要】
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设计与研制了一种小型的用于制备薄膜样品电接触的烧结炉装置，该装置简单、实用、特别适用于半导体霍尔样品电极的烧结。
【机 构】
：
华南理工大学应用物理系,华南师范大学ＭＯＣＶＤ实验室
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2000年9期
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