栅耦合型静电泄放保护结构设计

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【摘要】

：

提出了一种新型栅耦合型静电泄放(ESD)保护器件——压焊块电容栅耦合型保护管.该结构不仅解决了原有栅耦合型结构对特定ESD冲击不能及时响应的问题,而且节省了版图面积,提高

【作者】

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王源贾嵩孙磊张钢刚张兴吉利久

【机构】

：

北京大学微电子研究院; 北京大学微电子研究院北京100871; 北京100871;

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

静电泄放栅耦合金属氧化物半导体场效应管压焊块电容

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提出了一种新型栅耦合型静电泄放(ESD)保护器件——压焊块电容栅耦合型保护管.该结构不仅解决了原有栅耦合型结构对特定ESD冲击不能及时响应的问题,而且节省了版图面积,提高了ESD失效电压.0.5μm标准互补型金属氧化物半导体工艺流片测试结果表明,该结构人体模型ESD失效电压超过8kV.给出了栅耦合型ESD保护结构中ESD检测结构的设计方法,能够精确计算检测结构中电容和电阻的取值.

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