【摘 要】
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研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态T
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研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态TiO2薄膜为非晶态;低温(700 ℃以下)退火后,TiO2薄膜出现锐钛矿相,晶粒长大不明显;高温退火(900 ℃以上)后,薄膜转变为金红石相,晶粒由柱状转变为棱状,并迅速长大至微米量级.
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