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主要介绍微机电系统（MEMS）中几种测量薄膜力学性能的方法，如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法，比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。
微机电系统（MEMS）中薄膜力学性能的研究
【摘 要】
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主要介绍微机电系统（MEMS）中几种测量薄膜力学性能的方法，如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法，比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义
【机 构】
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苏州市职业大学,福州大学,厦门大学萨本栋微机电研究中心
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2007年5期
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