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简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状,包括:微构件材料的基本力学性能;微构件的力学分析与计算;微系统的失效分析研究;微系统的驱动等,并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应和尺度效应,提出了微系统多类型力作用、多种因素交叉、多学科耦合、非线性突出的特点和研究方向.
微电子机械系统中的若干固体力学问题
【摘 要】
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简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状,包括:微构件材料的基本力学性能;微构件的力学分析与计算;微系统的失效分析研究;微系统的驱动等,并阐述了微系统力学问题中
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室
【出 处】
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力学与实践
【发表日期】
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2003年2期
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