【摘 要】
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黏度作为流体特性的基本问题，在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据，为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求，近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法，基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统(Microelectromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学(烟台)智能传感技术与系统研究院 西安710049;西安交通大学
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黏度作为流体特性的基本问题，在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据，为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求，近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法，基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统(Microelectromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性，多样化黏度测量方法不断涌现，其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的
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