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某个企业在决定更新现有测量设备时,重要的是要求小型化、快速测量和价格便宜的新设备;而每个第一次欲购买某种测量仪器的企业,为了能够满足用户对其产品质量与精度的要求,力争得到体积小、价格便宜而效率高的测量仪器。在非接触式表面检验方面,德国的菲斯巴光学公司和柏林光学研究所合作,共同开发了一种结构精巧的三维干涉测量传感器。下文对此作以介绍。 很久以来,干涉法形状检验成为精密光学工业中的标准方法。此外,在其他行业,如