【摘 要】
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目的:研究轴套内存在周向加工误差(正弦波纹、方波波纹、三角波纹和锯齿波纹)对静压气浮主轴稳态性能的影响.方法:采用有限元法求解稳态雷诺方程,得到主轴的承载能力和高度角.结果:验证了有限元法的准确性,分析了周向加工误差形状、幅值和周期,对静压气浮主轴气膜厚度、气体压力、承载能力和高度角的影响.结论:周向加工误差使气膜厚度和气体压力沿圆周方向大幅波动,变化特点由加工误差的形状、幅值和周期决定;锯齿波纹提升承载能力最显著,对高度角影响最小;承载能力和高度角随锯齿波纹幅值的增大而增大,且随正弦波纹、方波波纹和三角
【机 构】
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中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018;中国计量大学现代科技学院,浙江杭州310018
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目的:研究轴套内存在周向加工误差(正弦波纹、方波波纹、三角波纹和锯齿波纹)对静压气浮主轴稳态性能的影响.方法:采用有限元法求解稳态雷诺方程,得到主轴的承载能力和高度角.结果:验证了有限元法的准确性,分析了周向加工误差形状、幅值和周期,对静压气浮主轴气膜厚度、气体压力、承载能力和高度角的影响.结论:周向加工误差使气膜厚度和气体压力沿圆周方向大幅波动,变化特点由加工误差的形状、幅值和周期决定;锯齿波纹提升承载能力最显著,对高度角影响最小;承载能力和高度角随锯齿波纹幅值的增大而增大,且随正弦波纹、方波波纹和三角波纹周期增大而减小,当周期超过一定值,将小于理想表面主轴的承载能力和高度角.
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切割是制造微电子QFN(Quad Flat No-leads Package,方形扁平无引脚封装)产品的重要工艺步骤,整体片条框架产品通过切割工步分离为单颗的集成电路.真空失效是影响切割设备稳定性和产品品质的关键点,本文针对QFN封装产品的切割特点进行真空失效分析和探讨.
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