纳米4H—SiC薄膜的光学性质研究

来源 :华中科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youxiing

【摘要】

：

SiC薄膜具有结构不易控制,透明性较差的特点.采用PECVD方法淀积的纳米SiC薄膜经光学透过率测试表明,在637 nm和795 nm处有高的光透过率.并且当薄膜的厚度增大时,仍然具有高透

【作者】

：

张洪涛徐重阳赵伯芳周雪梅

【机构】

：

华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

：

华中科技大学学报

【发表日期】

：

2001年6期

【关键词】

：

纳米结构光学性质碳化硅薄膜光学透过率 PECVD方法纤锌矿结构 silicon carbide film nanostructure optical p

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

SiC薄膜具有结构不易控制,透明性较差的特点.采用PECVD方法淀积的纳米SiC薄膜经光学透过率测试表明,在637 nm和795 nm处有高的光透过率.并且当薄膜的厚度增大时,仍然具有高透过率的特性.这一结果表明,PECVD技术具有制备结构均匀、透明的纳米SiC薄膜的优势.同时,在与非晶SiC薄膜进行对比中发现非晶SiC薄膜的透过率不如纳米SiC薄膜.

其他文献

苦菜总黄酮超声波辅助提取及抗氧化能力研究

为开发和利用苦菜中的黄酮资源,采用超声波辅助法提取苦菜总黄酮,通过响应面分析法对苦菜总黄酮超声波辅助提取工艺条件进行优化,并对最佳提取条件下苦菜总黄酮提取液的抗氧

期刊

苦菜总黄酮提取优化抗氧化Sonchus oleraceustotal flavonidsextractionoptimizeantioxidant c

氟喹诺酮C-3均三唑席夫碱硫乙酸的合成及抗肿瘤活性（X）

为进一步发现培氟沙星C-3羧基等排体-均三唑的结构优化新方法,用硫乙酸和席夫碱侧链作为其修饰基团,设计合成了12个新的C-3均三唑硫乙酸席夫碱目标化合物（7a7l）,其结构经元素分

期刊

氟喹诺酮均三唑席夫碱硫乙酸合成抗肿瘤活性

砂带磨损仿真分析及对材料去除影响研究

随着2025中国制造战略的逐步展开,中国的角色由制造大国逐步向制造强国飞速转变,而在高端精密制造中,自由曲面叶片的制造技术能力体现着国家工业能力的水平,为了提高加工精度和加工效率,降低工人技术门槛,降低人工成本,越来越多的叶片精加工企业逐步采用数控式砂带磨削机床,因此砂带磨削技术得到广泛的应用和发展。对于砂带磨削加工,砂带表面磨粒的工作状态将直接影响了加工质量和加工效率,磨粒磨削过程又属于一个微观

学位

砂带磨损去除率预测单颗磨粒表面质量

纳米4H—SiC薄膜的光学性质研究

其他学术论文