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测试结果表明，晶圆制造厂以VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环使用寿命是PPS产品的2．5倍。
优质和供应稳定的威格斯材料有助全球晶圆制造厂提升产量
【摘 要】
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测试结果表明，晶圆制造厂以VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环使用寿命是PPS产品的2．5倍。
【出 处】
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国外塑料
【发表日期】
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2007年1期
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