【摘 要】
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本文介绍一种数字式2×10~■Pa范围的压力传感器。该传感器是利用精密石英谐振器作为传感元件。力通过圆片形的石英膜片施加于谐振器,其频率变化与所施加的力成比例。该传感
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本文介绍一种数字式2×10~■Pa范围的压力传感器。该传感器是利用精密石英谐振器作为传感元件。力通过圆片形的石英膜片施加于谐振器,其频率变化与所施加的力成比例。该传感器的极限分辩误差小于0.7Pa。
This article describes a digital 2 × 10 ~ ■ Pa range of pressure sensors. The sensor is the use of precision quartz resonator as a sensing element. The force is applied to the resonator by a disc-shaped quartz diaphragm whose frequency change is proportional to the applied force. The limit of the sensor error is less than 0.7Pa.
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