多孔阳极氧化铝模板上电子束蒸发沉积TiO2

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以硫酸、草酸溶液为电解液,采用二次阳极氧化法制备了初始孔径在20~120 nm、孔间距在40~250 nm、孔深在200 nm~80μm范围内的具有高度有序纳米孔阵列的多孔阳极氧化铝(porous anodic alumina,PAA)模板。以PAA模板为基片,采用真空电子束蒸发的方法在PAA模板上制备了具有高度有序的TiO2纳米点阵列。利用场发射扫描电子显微镜和原子力显微镜对其形貌进行了表征。研究表明,所形成的TiO2纳米点阵列具有同其基底PAA模板相同的序列结构。对TiO2纳米点阵列的生长形成机理进行了讨论。 An array of highly ordered nanopores with an initial pore diameter of 20-120 nm, a pore spacing of 40-250 nm and a depth of hole in the range of 200 nm-80 μm was prepared by using anodic oxidation of sulfuric acid and oxalic acid as electrolyte. Porous anodic alumina (PAA) template. Using PAA template as the substrate, a highly ordered TiO2 nano-dot array was prepared on the PAA template by vacuum electron beam evaporation. The morphology was characterized by field emission scanning electron microscopy and atomic force microscopy. Studies have shown that the formed TiO2 nano-dot array has the same sequence structure as its base PAA template. The formation mechanism of TiO2 nano-array is discussed.
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