压电陶瓷微位移驱动器概述

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利用压电陶瓷的逆压电效应,可制成微位移驱动器。对该类器件的性能特点、分类、应用概况,压电陶瓷材料本质对该器件性能的影响,材料的选择及发展趋势等方面进行了介绍。
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