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TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外，还因表面积大、散热能力好，改善了体材料响应速度较慢的缺点，在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料。综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状，并对其应用进行了评述。
TiNi基形状记忆合金薄膜研究进展
【摘 要】
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TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外，还因表面积大、散热能力好，改善了体材料响应速度较慢的缺点，在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料。
【机 构】
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电子科技大学应用物理系,DepartmentofEngineering
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年2期
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