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本文概述物理气相沉积的基本原理,具体介绍了离子溅射及离子表面沉积的几种主要工艺方法及其在工业上的应用等。
金属表面物理气相沉积耐磨涂层
【摘 要】
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本文概述物理气相沉积的基本原理,具体介绍了离子溅射及离子表面沉积的几种主要工艺方法及其在工业上的应用等。
【机 构】
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上海第二冶金专科学校
【出 处】
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上海金属(钢铁分册)
【发表日期】
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1989年3期
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