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我国大直径半导体硅材料产业化取得新进展
我国大直径半导体硅材料产业化取得新进展
来源 :功能材料信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdswdts
【摘 要】
:
据媒体报导,北京有色金属研究总院、国家半导体材料工程研究中心和有研半导体材料股份有限公司联合攻克了0.13~0.10微米集成电路用直径12英寸硅单晶抛光片工程化成套技术,目前月产
【作 者】
:
谭智实
【出 处】
:
功能材料信息
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
半导体硅材料
大直径
北京有色金属研究总院
产业化
半导体材料
股份有限公司
工程研究中心
成套技术
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据媒体报导,北京有色金属研究总院、国家半导体材料工程研究中心和有研半导体材料股份有限公司联合攻克了0.13~0.10微米集成电路用直径12英寸硅单晶抛光片工程化成套技术,目前月产1万片中试生产线的产品已开始进行用户试用和供货考核评估工作。
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