【摘 要】
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长光栅位移传感器是一种高精度测量装置,其关键件为长光栅尺。本文对光栅接长技术加以研讨,着重讨论接长光栅对测量精度、位相等的影响,对大量程的长度测量具有实用价值。这
【机 构】
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上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所,
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长光栅位移传感器是一种高精度测量装置,其关键件为长光栅尺。本文对光栅接长技术加以研讨,着重讨论接长光栅对测量精度、位相等的影响,对大量程的长度测量具有实用价值。这一研究已获得成果。
Long grating displacement sensor is a high-precision measurement device, the key piece for the long grating. In this paper, we discuss grating length technology, focusing on the influence of the long grating on the measurement accuracy and bit equal, which is of practical value for the measurement of the length of the long range. This research has yielded results.
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