【摘 要】
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研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机.该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成.通过有限元分析可知,调整薄弱环节和两端部的尺寸,在板中间可
【机 构】
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浙江大学电气工程学院,浙江省,杭州市,310027;香港理工大学应用物理学系,中国香港特别行政区
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研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机.该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成.通过有限元分析可知,调整薄弱环节和两端部的尺寸,在板中间可以形成2个波长几乎相等的驻波模态,其中一个是正弦振型,一个是余弦振型;通过粘贴8片PZT4压电陶瓷在板的中部来激励这2种振动模态.依照该原理,设计制造并研究了长60 mm、宽10 mm的新型双向直线运动超声波电机.该直线超声波电机在一个方向上最大速度220 mm/s,最大出力1.764 N,在另一个方向上最大速度270 mm/s,最大出力1.96 N,且达到了0.2 μm以下的分辨率.
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