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材料表面经离子束辅助轰击下低能碳离子注入工艺处理后,形成由碳注入层和类金刚石碳薄膜涂层组成的改性层,其中注入层深度比DIM工艺深1倍以上.40Cr钢表面改性后显微硬度HV 可提高20%～128%.
离子束辅助轰击下低能碳离子注入
【摘 要】
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材料表面经离子束辅助轰击下低能碳离子注入工艺处理后,形成由碳注入层和类金刚石碳薄膜涂层组成的改性层,其中注入层深度比DIM工艺深1倍以上.40Cr钢表面改性后显微硬度HV 可
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2001年12期
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