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在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等事故对石墨热场、产品品质、安全等方面有着较大的不良影响。
功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析
【摘 要】
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在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等事故对石墨热场、产品品质、安全等方面有着
【机 构】
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山西潞安太阳能科技有限责任公司
【出 处】
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山西化工
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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山西省重点研发计划项目(项目编号:201803D421097)
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