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本文采用三层光刻工艺制作了基于聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane，PDMS）的V形微分流器。引入牺牲层技术，解决了不同胶层间的界面互融问题，讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响。所制得的分流器工艺简单，结构形貌良好，具有良好的微流控制作用，满足器件使用要求。
一种基于MEMS技术的PDMS微型分流器的研制
【摘 要】
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本文采用三层光刻工艺制作了基于聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane，PDMS）的V形微分流器。引入牺牲层技术，解决了不同胶层间的界面互融问题，讨论了不同胶层间显影液对图形质量
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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分析科学学报
【发表日期】
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2007年1期
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