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采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法，利用(110)硅片结晶学特性，通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺，在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构，器件的一致性好，制作工艺简单．利用扇形定位区域，精确地沿(110)硅片的{111}面进行定向腐蚀，可使微反射镜镜面垂直度达到90±0．3°，经测量表面粗糙度低于6nm。