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本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、高分辨力的特点
一种小型相位光栅干涉式（PGI）微位移传感器
【摘 要】
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本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、高分辨力的特点
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2005年01期
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