论文部分内容阅读
ASML Holding NV近13在SEMICON West上发布其最新的沉浸式光刻设备Twinscan XT 1950i。尽管该设备与之前的同类产品同样采用1．35孔径（NA），然而该系统的分辨率从40nm改善至38nm，这能使芯片在面积上收益10％。
ASML发布最新沉浸式光刻设备可用于38nm存储器
【摘 要】
：
ASML Holding NV近13在SEMICON West上发布其最新的沉浸式光刻设备Twinscan XT 1950i。尽管该设备与之前的同类产品同样采用1．35孔径（NA），然而该系统的分辨率从40nm改善至38nm，这
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
：
2008年8期
其他文献
文化的可译与不可译性在翻译活动中一直是一个无法避免的问题,在一定情况下,采用不同的翻译方法将不可译转化为可译。本文以小说《狼图腾》的英译本为例进行分析,分析译者在
鉴于有色金属矿山的装备越来越先进，科技含量越来越高，我们有必要对传统设备维修管理机制实行改革，以适应新形势。本文首先介绍了传统的设备维修管理模式，然后提出点检定修管理。
本文报道了含铜聚乙烯醇尼龙微囊(CPNM)吸碘性能的研究.研究表明.CPNM对低浓度碘离子有优异的选择性吸附能力,在逆流通条件下能从含I-1.0×10-6的贫碘溶液中将碘富集1000
介绍了新型带压采样器的总体设计、各部件选型要求以及操作方法。采用氮气泄压方式进行采样，满足石油化工领域特殊物料的样品采集工作。具有安全可靠、操作方便等特点。
针对ADSP-21990芯片,本文介绍了转子磁链位置计算方法,以及交流异步电动机的闭环矢量控制系统的软硬件设计。经实践验证,可有效地提高电机的控制精度,简化了硬件电路,又节省
从电力系统中的电站负荷计算、电站设计、配电设备的选择、开关选型四方面阐述了整个电力系统设计的过程，航行试验证明该电力系统设计是合理高效的，在电源的质量、节能、自动化
现今的汽车信息娱乐系统中充分体现了创新、卓越的汽车工程技术，系统已由最初的汽车收音机演变成集视听娱乐、车载通讯、导航、网络控制等功能于一身的综合性多媒体车载电子系
化学机械研磨（CMP）被广泛用于铜镶嵌工艺,研磨后铜的厚度和表面形貌对65纳米以下的工艺显得越来越重要,厚度和形貌的变动会对芯片良率和性能造成恶劣影响,所以必须在设计时就进
The detailed geological mapping, conducted in the Damxung-Yangbajain basin, shows that there are many types of deposits formed since the Pliocene. The oldest se