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材料的摩擦，磨损，腐蚀，疲劳及其组合等问题的研究和卓有成效的解决途径成为当前表面工程领域研究的热点。本文主要介绍物理气相沉积和等离子增强化学气相沉积技术在模具工业上的应用。
PVD／PECVD技术在模具工业上的应用
【摘 要】
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材料的摩擦，磨损，腐蚀，疲劳及其组合等问题的研究和卓有成效的解决途径成为当前表面工程领域研究的热点。本文主要介绍物理气相沉积和等离子增强化学气相沉积技术在模具工业上的
【机 构】
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ExproHEF法国,HEFShanghai,艾福表面处理技术（上海）有限公司
【出 处】
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模具工程
【发表日期】
：
2005年4期
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