【摘 要】
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一、引言 由Mattox将辉光放电技术与蒸发镀膜结合起来、创始了二极管式离子镀起,到现在已经发展成了e型枪电子束离子镀、高频激励法、活化反应蒸发法、低压等离子体法和磁控
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一、引言 由Mattox将辉光放电技术与蒸发镀膜结合起来、创始了二极管式离子镀起,到现在已经发展成了e型枪电子束离子镀、高频激励法、活化反应蒸发法、低压等离子体法和磁控溅射等离子镀。它具有附着力牢、绕射能力强、针孔少、基片和蒸发物质的组合范围广等优点。因而,它已广?
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