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采用PEVCD技术，分别用Fe、Ni、Co作为催化剂，在Si基底上沉积出了不同形貌的碳纳米管．并用扫描电镜对碳纳米管的形貌进行了表征．而且深入研究了不同催化剂种类对碳纳米管生长的影响机理．结果表明：Ni是这3种催化剂中最适合沉积碳纳米管的催化剂．
催化剂种类对PECVD制备碳纳米管的影响
【摘 要】
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采用PEVCD技术，分别用Fe、Ni、Co作为催化剂，在Si基底上沉积出了不同形貌的碳纳米管．并用扫描电镜对碳纳米管的形貌进行了表征．而且深入研究了不同催化剂种类对碳纳米管生长的影
【机 构】
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渭南师范学院物理与电气工程学院
【出 处】
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渭南师范学院学报
【发表日期】
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2011年12期
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