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介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的单晶硅磨面倒角磨床,可用于磨削单晶硅开方后的四平面和圆弧角,可以收到理想的效果。
单晶硅磨面倒圆专用磨床简介
【摘 要】
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介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证
【机 构】
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青岛高测科技股份有限公司,淄博市淄川区工业和信息化局
【出 处】
：
精密制造与自动化
【发表日期】
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2019年4期
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