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采用耦合模（COM）理论对声表面波（SAW）谐振器进行数字模拟，并采用梅森（Mason）正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计，最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力，可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上：
MEMS-SAW陀螺仪研究
【摘 要】
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采用耦合模（COM）理论对声表面波（SAW）谐振器进行数字模拟，并采用梅森（Mason）正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计，最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外
【机 构】
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河南理工大学计算机科学与技术学院,河南理工大学电气工程与自动化学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2010年11期
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