论文部分内容阅读
中国上海诺发系统有限公司（Novellus Systems，Inc．，）宣布，该公司的VECTOR系统在台积电2006供应链管理论坛上获得TSMC颁发的“2006年度优秀CVD供应商奖”。350多家TSMC供应商参加了这次活动，诺发公司是获得“2006年度优秀供应商奖”殊荣的十一家公司之一。诺发公司的VECTOR 300mm等离子增强化学气相淀积（PECVD）设备被半导体制造商所广泛采用，用于高性能IC电介质薄膜的淀积。该系统在薄膜技术上取得了诸多技术革新，同时具有很高的生产力，