【摘 要】
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已設計和制造了一个輕便的全金属超高眞空系統,在抽速为800升/秒时眞空度达到1×10~(-10)乇,无碳氫化合物的沾污。用25升/秒的离子—消气剂泵获得前級眞空低于10~(-8)乇。用
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已設計和制造了一个輕便的全金属超高眞空系統,在抽速为800升/秒时眞空度达到1×10~(-10)乇,无碳氫化合物的沾污。用25升/秒的离子—消气剂泵获得前級眞空低于10~(-8)乇。用液氦泵获得极限眞空1×10~(-10)乇,該泵对空气的抽速是800升/秒。使用迴旋质譜仪(分弁率～45)在10~(-11)和10~(-10)乇之間分析残余气体和测定分压强。除了主要成分氫以外还发現了氦、氖、一氧化碳和甲烷的痕跡。
A lightweight all-metal ultralight airborne system has been designed and manufactured to achieve a vacuum of 1 x 10⁻¹ Torr at a pumping rate of 800 liters / sec., Free of hydrocarbon contamination. A 25 liter / sec ion-getter pump was used to obtain a foregrip empty below 10-8 Torr. A liquid helium pump was used to obtain a limit of 1 × 10 -10 Torr, and the pumping speed of air to the air was 800 L / sec. Residual gases were analyzed using a cyclotron spectrometer (fractionation-45) between 10 and-10 torr and the partial pressure was determined. In addition to the main hydrogen component, traces of helium, neon, carbon monoxide and methane were found.
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