【摘 要】
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采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH4/H2/Ar为气源,通过调节O2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)
【机 构】
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昆明理工大学超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室,昆明理工大学微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,云南民族大学化学与环境学院,昆明理工大学冶金与能源
【基金项目】
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国家自然科学基金(51604134);云南省教育厅科学研究基金(2016ZZX040);国家国际科技合作项目对俄专项(2015DFR50620);昆明市科技计划项目(2014-04-A-H-02-3085)
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采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH4/H2/Ar为气源,通过调节O2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4 nm增大至16.1 nm,随后减小至9.6 nm;当O2流量为0.7 sccm时,金刚石
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