【摘 要】
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背散射是物质表面分析的一种有用工具。本文简要介绍了背散射的原理和常用的分析方法,给出了用背散射技术测量金属和非金属厚度、分析硅中掺砷含量、测量Si_3N_4样品的化学配
【机 构】
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背散射是物质表面分析的一种有用工具。本文简要介绍了背散射的原理和常用的分析方法,给出了用背散射技术测量金属和非金属厚度、分析硅中掺砷含量、测量Si_3N_4样品的化学配比、分析离子注入样品、测量氯元素在二氧化硅中的深度分布等实验结果。
Backscatter is a useful tool for surface analysis of matter. In this paper, the principle of backscattering and the commonly used analytical methods are briefly introduced. Backscattering techniques are used to measure the thickness of metal and nonmetal, the content of arsenic in silicon is analyzed, the chemical composition of Si_3N_4 is measured, the ion implanted sample is analyzed, Element depth in silica and other experimental results.
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