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在近似计算的基础上,对圆柱形真空镀膜室内偏压电场分布进行模拟,描绘了阴极电弧源粒子的蒸发和运动形态,设计了对称的粒子接收屏,讨论了不同带电粒子的相对接收比例,揭示了成分离析效应的影响因素.
阴极电弧离子镀沉积过程的计算机模拟研究
【摘 要】
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在近似计算的基础上,对圆柱形真空镀膜室内偏压电场分布进行模拟,描绘了阴极电弧源粒子的蒸发和运动形态,设计了对称的粒子接收屏,讨论了不同带电粒子的相对接收比例,揭示了
【机 构】
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沈阳大学,井陉县第一中学
【出 处】
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沈阳大学学报
【发表日期】
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2004年6期
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