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采用溶胶—凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Fe掺杂的ZnO薄膜，研究了不同的Fe掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响．利用X射线衍射分析了薄膜样品的晶向和晶相，利用原子力显微镜观测了薄膜样品的表面形貌，利用双光束紫外—可见分光光度计分析了ZnO薄膜样品的光学性质．实验结果表明：所有ZnO薄膜样品都是六角纤锌矿结构，ZnO晶粒沿C轴择优生长．质量分数为1％ Fe掺入之后，ZnO薄膜的C轴择优取向进一步增强，薄膜的晶化质量也得到进一步提高．当Fe的掺杂浓度高于1％时，ZnO薄膜（002）衍射峰的强度又降低