论文部分内容阅读
用15 keV的N+和Ar+注入PES,纯PES膜表面电导率提高了5个数量级,掺碘PES膜表面电导率提高4个数量级.表面电导率随剂量的变化关系具有饱和性.掺碘使未注入的PES膜表面电导率提高近一个数量级,掺碘对提高注入离子的PES膜的表面电导率作用不大.在低剂量时,注Ar+样品的表面电导率大于注N+样品的表面电导率.在最高剂量时,表面电导率和注入离子的种类无关.离子注入PES膜的表面电导率在空气中非常稳定.在0～30 V范围内,离子注入PES膜的表面电导率随电压的增加而缓慢增加.