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本文比较先在硅衬底上沉积无定形金刚石膜，然后再沉积金刚石膜，和直接在硅衬底上沉积金刚石膜的结果，前者成核密度大大提高，最后分析了提高成核密度的原因。
提高MCVD金刚石薄膜成核密度的有效方法
【摘 要】
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本文比较先在硅衬底上沉积无定形金刚石膜，然后再沉积金刚石膜，和直接在硅衬底上沉积金刚石膜的结果，前者成核密度大大提高，最后分析了提高成核密度的原因。
【机 构】
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河南省基础及应用研究所
【出 处】
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郑州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目
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