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近年来，对精加工表面质量的要求日益增高，使得表面粗糙度的测量具有越来越重要的地位．提出了一种新颖的，利用光的干涉原理测量光滑物体表面粗糙度的方法．该光路使用一个半波片改变一路光束的偏振态，避免了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的问题，保证了系统的稳定性．使用一个1／4波片使接收端的光束的偏振态方向一致，使干涉信号最强．采用两光束共光路、同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．通过对一标准量块的测量验证了方案的可行性，结果表明该系统在实验室现有条件下可以测量轮廓算术平均偏差R。为0．012μm