磁控溅射电极

来源 :等离子体应用技术快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：savages8850

【作者】

：

松一

【出处】

：

等离子体应用技术快报

【发表日期】

：

1999年6期

【关键词】

：

磁控溅射电极靶材薄膜技术

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