测量集成光波导近场分布的一种方法

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本文叙述了一种测量集成光波导近场分布的方法,列出了对富士通厚木研究所集成光波导的测试结果。利用一块标准刻度为10μm的玻璃板作参考标准,对测得的集成光波导的近场分布作了定量估价。 This article describes a method for measuring the near-field distribution of an integrated optical waveguide and lists the test results for an integrated optical waveguide at the Fujitsu Atsugi Research Institute. Using a glass plate with a standard scale of 10μm as a reference standard, the measured near-field distribution of the integrated optical waveguide is quantitatively evaluated.
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