【摘 要】
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利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO：Yb光波导薄膜，然后用离子注入技术将能量为200keV的Er^＋离子注入薄膜中，剂量为1×10^15ions／cm2。应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散
【机 构】
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山东建筑大学理学院,山东大学信息科学与工程学院
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利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO：Yb光波导薄膜，然后用离子注入技术将能量为200keV的Er^＋离子注入薄膜中，剂量为1×10^15ions／cm2。应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散射（RBS）技术、X射线衍射（XRD）技术和荧光光谱等技术研究了薄膜的波导性质、基本结构、厚度、组分、Er^＋的射程情况及光学频率上转换性质。实验发现掺杂Yb和Er的薄膜可以形成光波导结构，但波导质量较纯ZnO波导膜差，膜的有效折射率及沉积速率随Yb掺杂量增加有减小趋势；薄膜呈ZnO高度c-轴取向生长，Yb
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