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为提高硅烷自组装单层膜的质量，提出溶剂抽提制备的工艺。玻片在5×10^-3mol／L的巯基丙基三甲氧基硅烷（MPTS）苯溶液浸泡反应，依次用苯、丙酮、双蒸水回流抽提，得到MPTS的白组装膜。使用接触角、俄歇电子能谱及X射线光电子能谱等方法进行表征。研究结果表明：在惰性气体保护下，连续使用非极性溶剂和极性溶剂抽提，有效清除玻璃表面硅烷的物理吸附层，有效防止巯基硅烷的氧化，获得膜厚度为0．8nm、均匀的MPTS自组装单层膜。该工艺为制备稳定的硅烷自组装单层膜提供一种新方法。