【摘 要】
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微加工误差、制造缺陷或创新设计,均可导致微机电系统微梁谐振元件的实际边界偏离理想固支边界,因此研究弹性边界谐振器的静动力学问题成为微机电技术发展的必然。综合考虑中
【机 构】
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天津大学机械工程学院天津市非线性动力学与控制重点实验室,河北大学机械系计量仪器与系统国家地方联合工程研究中心,天津职业技术师范大学机械工程学院天津市高速切削与精密加工重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(11872044,11772218,11702192),国家重点研发计划重点专项(2018YFB0106200)
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微加工误差、制造缺陷或创新设计,均可导致微机电系统微梁谐振元件的实际边界偏离理想固支边界,因此研究弹性边界谐振器的静动力学问题成为微机电技术发展的必然。综合考虑中性面变形、静电力边缘效应、弹性边界等因素建立了静电驱动微梁谐振器的分布质量模型,应用Galerkin方法研究了弹性边界和边缘场对于系统静态位移与谐振频率的影响,进而以收敛的五阶离散静态解为基础,引入单自由度离散模型,并应用多尺度方法研究了小幅振动情况下弹性边界和边缘场对于系统主共振频响特性的影响。通过将上述分析与高阶Galerkin离散结果对比,
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