A New Pre-alignment Approach Based on Four-Quadrant-Photo-Detector for IC Mask

来源 :国际自动化与计算杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gongzi2009
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在这篇论文,一条新排列前途径基于为 IC 面具的 Four-Quadrant-Photo-Detector (FQPD ) 被介绍。从 FQPD 的电压产量是关于 FQPD 的排列标记鈥檚 位置偏移量的函数。功能与基于的最少的广场错误(LSE ) 被获得在试验性的数据的正规化以后的多项式试穿。因为获得的函数不是关于他们的变量的 monotonic,排列标记鈥檚 位置偏移量不能被直接反的操作在获得的函数上给。然而, piecewise 多项式试穿给反的功能,排列标记鈥檚 位置偏移量能根据 FQPD 的电压产
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