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采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除气体中的金属和硼，砷，磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
二氯二氢硅的纯化
【摘 要】
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采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除气体中的金属和硼，砷，磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
【机 构】
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化工部光明化工研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1996年1期
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