【摘 要】
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在改良西门子法制备多晶硅工艺过程中,大量的卧式标准椭圆形封头储罐用于氯硅烷液体的存储,通过液位及时准确的掌握储罐内的氯硅烷液体体积,对于工艺物料平衡有重要意义.通过几何分析,计算了同一类型不同规格的卧式标准椭圆封头储罐液位与体积的关系,从而得到液位与容积的曲线,提高了操作人员对物料平衡的调整效率和准确性,减少了储罐因氯硅烷液体过充或液位过低导致的安全风险.
【机 构】
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四川永祥股份有限公司, 四川 乐山 614800
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在改良西门子法制备多晶硅工艺过程中,大量的卧式标准椭圆形封头储罐用于氯硅烷液体的存储,通过液位及时准确的掌握储罐内的氯硅烷液体体积,对于工艺物料平衡有重要意义.通过几何分析,计算了同一类型不同规格的卧式标准椭圆封头储罐液位与体积的关系,从而得到液位与容积的曲线,提高了操作人员对物料平衡的调整效率和准确性,减少了储罐因氯硅烷液体过充或液位过低导致的安全风险.
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